韩国半导体厂商研发新技术降低工艺步骤需求
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韩国半导体厂商研发新技术,降低工艺步骤需求
IT之家7月16日消息,韩媒TheElec报道,韩国半导体厂商研发新技术,降低工艺步骤需求韩国半导体公司周星工程(JusungEngineering)最新研发出原子层沉积(ALD)技术,可以在生产先进工艺芯片中降低极紫外光刻(EUV)工艺步骤需求。IT之家注:极紫外光刻(EUV)又称作超紫外线平版印刷术,是一种使用极紫外光波长的光刻技术,目前用于7纳米以下的先进制程,于2020年得到广泛应用。周星工程董事长ChulJooHwang表示当前DRAM和逻辑芯片的扩展已达到极限,因此需要像NAND一样,通过堆叠晶体管的方...